Методы измерения выходных сигналов емкостных МДП-сенсоров
Самотаев Н. Н. канд. техн. наук, доцент (1)
Литвинов А. В. канд. физ.-мат. наук, доцент (1)
Этрекова М. О. инженер 2-ой кат. (1, 2)
Филипчук Д. В. инженер (2)
Михайлов А. А. канд. физ.-мат. наук, зам. ген. директора mikhailov@inkram.ru (2)
Бухаров Д. Г. канд. техн. наук, ст. научн. сотрудник (3)
Демидов В. М. ведущий инженер (3)
(1) Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Москва
(2) ООО «НПФ «ИНКРАМ»
(3) Национальный исследовательский университет «МЭИ»Аннотация: В работе проанализированы три метода измерения емкости (амплитудный с делителем, амплитудный мостовой и импульсный) с целью подбора оптимальных режимов измерения выходных сигналов емкостных МДП-сенсоров, используемых в качестве чувствительных элементов газоанализаторов при определении концентраций опасных химических веществ (токсичных, взрывчатых) в воздухе на уровне 0,1-50 ppb.
Ключевые слова: МДП-структуры Pd-SiO2-Si и Pd-Ta2O5-SiO2-Si, газовый сенсор на эффекте поля, вольт-фарадная характеристика, выходной сигнал емкости.